Inline sputtersysteem
-
Inline Magnetron Sputtersysteem
Inline Magnetron Sputtering-systeem is een soort vacuüm dunne-filmafzettingsapparatuur die voor verschillende doeleinden werkt.De meest voorkomende toepassingen van onze sputterlijn, waaronder:
Fabricage van aluminium spiegels
- ITO glascoating
- Anti-reflecterend glas
- Decoratieve coatings voor roestvrij staal en glas
Dit coatingsysteem is geschikt voor hoogwaardige vacuümcoatingtoepassingen.Het produceert stabiele werkprestaties om de kwaliteit van vacuümcoatingfilms te verbeteren.
-
ITO Glass Magnetron Sputtercoatinglijn
ITO Glass Magnetron Sputtering Coating Line maakt gebruik van vacuümmagnetron-sputtertechnologie en ongebalanceerde magnetron-sputtertechnologie om floatglas van hoge kwaliteit te coaten met een SO2 / ITO-laag.Gebaseerd op internationaal geavanceerd controlesysteem.Het hele productieproces werkt automatisch en continu.
-
Aluminium spiegel Inline Magnetron sputterlijn
Aluminium Mirror Inline Magnetron Sputtering Line is ontworpen voor een hoge output van de fabricage van glazen spiegels.Om groter glas te coaten en zorg te dragen voor breekbare glaspanelen, vooral voor de grote platen, maken we meestal een horizontale sputterlijn.Het is een continue magnetroncoatinglijn, met de voorste en achterste ruwe pompkamer, en na de overgangskamer, voor en na de fijne pompkamer, een bufferkamer, kleurplatenkamer.
Doelontwerp: cilindrische magnetron sputterkathodes en/of vlakke kathoden.
Stroombron: voeding met krachtige DC- of MF-magnetronverstuiving
Aandrijfsysteem: rolaandrijving, frequentie instelbaar, kamerdeuropeningssysteem van het inductietype.
Vacuümsysteem: diffusiepomp (of moleculaire turbopomp) + wortelspomp + mechanische pomp
