Aluminium spiegel Inline Magnetron sputterlijn

Korte beschrijving:

Aluminium Mirror Inline Magnetron Sputtering Line is ontworpen voor een hoge output van de fabricage van glazen spiegels.Om groter glas te coaten en zorg te dragen voor breekbare glaspanelen, vooral voor de grote platen, maken we meestal een horizontale sputterlijn.Het is een continue magnetroncoatinglijn, met de voorste en achterste ruwe pompkamer, en na de overgangskamer, voor en na de fijne pompkamer, een bufferkamer, kleurplatenkamer.

Doelontwerp: cilindrische magnetron sputterkathodes en/of vlakke kathoden.

Stroombron: voeding met krachtige DC- of MF-magnetronverstuiving

Aandrijfsysteem: rolaandrijving, frequentie instelbaar, kamerdeuropeningssysteem van het inductietype.

Vacuümsysteem: diffusiepomp (of moleculaire turbopomp) + wortelspomp + mechanische pomp